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江豐電子:目前,公司生產的鉭靶、鈦靶、鋁靶已經實現5nm技術節點的量產

每日經濟新聞 2022-10-09 09:44:35

每經AI快訊,有投資者在投資者互動平臺提問:2021年報P45:集成電路28-7nm技術節點用超高純鉭(Ta)靶材及環件、銅靶材(Cu)、鈦靶材(Ti)、鋁靶材(Al)…并在客戶端實現全面量產,其中鉭靶材及環件在臺積電7nm芯片中已經量產。同時,應用于5nm技術節點的部分產品評價通過并量產,部分產品進入驗證階段。 請問,5nm實現量產的產品是什么靶材?鋁靶嗎?

江豐電子(300666.SZ)10月8日在投資者互動平臺表示,目前,公司生產的鉭靶、鈦靶、鋁靶已經實現5nm技術節點的量產。

(記者 蔡鼎)

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