英諾激光：公司在半導(dǎo)體領(lǐng)域提供的主要產(chǎn)品為碳化硅退火制程的激光器

每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動(dòng)平臺(tái)提問(wèn)：貴公司是否，在極紫外線(xiàn)光有前瞻性研究？半導(dǎo)體前序工藝中，是否在激光刻蝕光源方面有技術(shù)儲(chǔ)備呢？

英諾激光（301021.SZ）6月1日在投資者互動(dòng)平臺(tái)表示，公司在半導(dǎo)體領(lǐng)域提供的主要產(chǎn)品為碳化硅退火制程的激光器，亦有少量應(yīng)用在硅基半導(dǎo)體檢測(cè)等關(guān)鍵制程的紫外和深紫外等激光器，客戶(hù)以國(guó)外知名半導(dǎo)體裝備公司為主。

(記者 王可然)

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