首發快訊

兩部門：聚焦集成電路核心計量技術支撐重點攻克扁平化量值傳遞等技術難題

每日經濟新聞 2025-07-09 14:55:31

每經AI快訊，7月9日，市場監管總局、工業和信息化部印發《計量支撐產業新質生產力發展行動方案（2025—2030年）》，面向集成電路產業發展需求，聚焦集成電路核心計量技術支撐，重點攻克扁平化量值傳遞等技術難題，突破晶圓級缺陷顆粒計量測試、集成電路參數標準芯片化、3D等先進封裝標準物質研制和12英寸晶圓級標準物質研制瓶頸，布局新型原子尺度計量裝置、標準和方法創新，圍繞幾何量、光學、熱學、電學等關鍵參量，突破晶圓溫度、真空、氣體檢測和微振動等集成電路計量技術，研究集成電路關鍵工藝參數在線計量方法，開展計量測試評價，形成服務集成電路的計量體系。

如需轉載請與《每日經濟新聞》報社聯系。
未經《每日經濟新聞》報社授權，嚴禁轉載或鏡像，違者必究。

讀者熱線：4008890008

特別提醒：如果我們使用了您的圖片，請作者與本站聯系索取稿酬。如您不希望作品出現在本站，可聯系我們要求撤下您的作品。