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晶瑞電材：目前ArF高端光刻膠研發工作在有序開展中

2023-05-08 20:38:14

每經AI快訊，5月8日，晶瑞電材在投資者關系活動記錄表中稱，公司i線光刻膠已向中芯國際、合肥長鑫等國內的知名大尺寸半導體廠商供貨；KrF光刻膠生產及測試線已經建成，且KrF光刻膠部分品種已于2022年開始量產，今年將發力拓展新客戶；公司于2020年啟動了集成電路制造用高端光刻膠研發項目，并于2020年下半年購買了ASML1900 Gi型光刻機及配套設備，目前ArF高端光刻膠研發工作在有序開展中。

責編 王瀚黎

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